元件的应用可说是无所不在，随着制造技术的精进及成本的下降，包括家庭闸道器(Home gateways)、住家自动化(HA)、新的人机界面(HMI)、即时健康监测系统、用于预防医学的生物晶片、穿戴型行动装置及物联网等，都是以 MEMS为基础技术的重要应用，MEMS所打造的智慧生活已然成形。
根据Yole Developpement的研究报告指出，2012年全球智慧型手机与平板电脑用 MEMS 感测器市场产值为22亿美元，预计在2013年达到27亿美元，且自2013至2018年间，全球 MEMS 感测器市场将以18.5%的年复合成长率成长，2018年时可望达到64亿美元的市场规模。
MEMS近年需求量的大爆发，主是要拜智慧型手机、游戏机及平板电脑等消费性电子所赐。针对MEMS的市场前景，ST意法半导体执行副总裁暨类比、MEMS及感测器事业群总经理Benedetto Vigna表示，MEMS的下一波大规模成长将来自物联网的需求，其中主要集中在动作感测器、声音感测器以及环境感测器，例如湿度、压力和红外线感测器等，藉由智慧型感测器系统的布建，虚实环境得以进一步连结。
面对物联网成长的趋势，Benedetto Vigna强调，意法半导体将利用既有的各种类型感测器技术及超低功耗的家用、商用及工业用无线射频晶片，以及用于穿戴式应用的低功耗蓝牙介面，共同推动物联网市场的成长，并创造下一波MEMS应用商机。
此外，常见的车用MEMS感测器，也属于物联网中的车联网一环。常用的元件包括用于汽车动力传动系统与胎压监测系统运用的压力感测器、用于安全气囊系统的加速度计，以及用于电子车身稳定控制系统运用的陀螺仪等，由于MEMS感测器在众多安全性系统中扮演重要角色，因此与安全法规相关的应用，将是推动车用 MEMS感测器需求持续成长的动力。
